中国上市公司网讯12月4日，证监会官网披露了深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(以下简称“恒运昌”或公司)首次公开发行股票注册的批复，公司IPO注册获同意。公司本次发行的股票数量不超过1,693.0559万股，将于上交所科创板上市。
恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
公司聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。与此同时，国内主要晶圆厂被美国商务部列入实体清单后，无法向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修的业务。
恒运昌本次拟使用募集资金金额146,900.00万元，主要用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。
恒运昌表示，公司始终致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，为半导体设备国产化贡献中国“芯”力量。未来，公司将抓住半导体产业链国产化的机遇，在国家政策大力支持下，持续致力于半导体设备核心零部件的研发生产，通过自主创新提高公司产品的技术先进性、丰富公司产品种类、扩大产品市场占有率，助力国内半导体设备企业实现关键零部件全面自主可控。
公司将持续加大技术研发投入，不断提升技术水平与市场竞争力。一方面，公司将进一步拓展并深化核心技术在半导体、光伏、显示面板、精密光学等领域的应用，积极参与客户新产品的开发设计过程，满足多元化的市场需求。另一方面，公司将积极拓展技术应用领域，探索更多行业场景，为客户提供全面的解决方案。
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